전기·전자기기 Plasma Cleaning System - Batch Plasma 플라즈마클리너
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김진용
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조회 505회
작성일 21-10-05 15:30
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더한다
01096981684
- 모델명
- MARCH PX-1000
- 기본사양
- RF Generator, 13.56MHz, 600W, 3상 220V, 펌프용량 1500 L/min
- 제조사
- MARCH
- 제조년월
- 2010년 1월 1일
- 거래가능지역
- 전국
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제품 상세정보
본문
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Pump source |
RF Generator, 13.56 MHz, 600W |
Vacuum pump |
1500 L/min oil rotary pump |
Gas flow controller |
1 mass flow controller(MFC: Ar Gas) |
Internal chamber dimention |
size W450 x D600 x H450 mm |
Electrical power |
220V, 3 phase |
기타 |
Touch pannel control 저소음 콤프레샤 및 변압기 |
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